LH1000雙頻激光干涉儀

產(chǎn)品描述：

光刻機(jī)專用雙頻激光干涉儀
可構(gòu)建XY位移臺(tái)等多軸測(cè)量系統(tǒng)
采用直接輸出線偏振光、大功率、大頻差雙頻激光器
無(wú)圓偏振光轉(zhuǎn)線偏振光非線性誤差
大功率可同時(shí)測(cè)量更多數(shù)量的軸向位移
大頻差，測(cè)量速度更快

服務(wù)熱線:4008168900

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Information in English:

LH1000 Dual-frequency Interferometer.pdf

Nonlinear error analysis and experimental measurement of Birefringence-Zeeman dual-frequency laser interferometer.pdf

專為光刻機(jī)配套開發(fā)的高精度測(cè)量系統(tǒng)；

通過(guò)國(guó)家重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝”項(xiàng)目驗(yàn)收。

采用直接輸出線偏振光的雙頻激光器；

非線性高精密測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量更精準(zhǔn)；

可提供1~20MHz頻差內(nèi)任意頻差產(chǎn)品，滿足各種測(cè)量速度需要。

光源和測(cè)量信號(hào)接收單元分體式設(shè)計(jì)，方便搭建XY位移臺(tái)等多軸測(cè)量系統(tǒng)；

精巧的測(cè)量信號(hào)光纖接收頭，即使空間狹小也能方便安裝；

標(biāo)準(zhǔn)光刻機(jī)干涉儀安裝尺寸和數(shù)據(jù)接口，可直接替換現(xiàn)有產(chǎn)品。

（欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點(diǎn)和差異，請(qǐng)閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的：雙頻激光干涉儀）

型號(hào)	頻差(MHz)	最小出光功率(μW)	光斑尺寸(mm)	穩(wěn)頻精度(ppm)
LH1000A	1.5±0.5	>500	6	±0.02
LH1000B	2.5±0.5	> 500	6	±0.02
LH1000C	3.5±0.5	> 500	3, 6, 9	±0.02
LH1000D	4.5±0.5	>500	6, 9	±0.02
LH1000DL	5.5±0.5	> 500	6, 9	±0.02
LH1000EL	6.5±0.5	>500	6	±0.02
LH1000FL	7.5±0.5	>500	6, 9	±0.02
LH1000GL	8.5±0.5	> 500	9	±0.02
LH1000H	9.5±0.5	> 500	3, 6, 9	±0.02
LH1000I	10.0-20.0(按需定制)	> 500	3, 6, 9	±0.02